Axcelis Technologies, Inc. designs, manufactures and services ion implantation and other processing equipment used in the fabrication of semiconductor chips. The Company offers a complete line of high energy, high current and medium current implanters for all application requirements. In addition to equipment, the Company provides extensive aftermarket lifecycle products and services, including used tools, spare parts, equipment upgrades, maintenance services and customer training. Its Purion flagship systems are all based on a common platform, which enables a combination of implant purity, precision and productivity. Combining a single wafer end station, with advanced spot beam architectures (that ensures all points across the wafer see the same beam condition at the same beam angle), Purion products enable process control to optimize device performance and yield, at high productivity. The Company sells its products to semiconductor chip manufacturers around the world.

Axcelis Technologies, Inc. занимается производством капитального оборудования для производства полупроводниковых чипов. Штаб-квартира компании находится в Беверли, штат Массачусетс. Компания пошла на IPO 2000-07-11. Фирма предоставляет продукты и услуги послепродажного жизненного цикла, включая используемые инструменты, запасные части, модернизацию оборудования, обслуживание и обучение клиентов. Компания предлагает полную линейку высокоэнергетических, высоких токов и среднетоковых имплантатов для всех требований к применению. Ее системы Purion все основаны на общей платформе, которая обеспечивает сочетание чистоты имплантата, точности и производительности. Его пучечный пучок Purion H, Purion Dragon и Purion H200, системы высокого тока охватывают все высокие текущие требования. Его Purion XE и другая высокоэнергетическая система Purion сочетает в себе его радиочастотную (RF) высокоэнергетическую технологию Linac, технологию точечного луча с системой обработки волнообразных платформ Purion. Компания предоставляет систему Purion M Si и SiC среднего тока. Его очищение M-системы также предлагают дифференцированные возможности для специализированных приложений.

Frequently Asked Questions